v 功能特點 用于超導量子實驗室制備超導結（量子比特和約瑟夫森結）和量子器件，可以制備大面積、高穩定性和可重復性超導結。ü 四腔室超高真空系統ü 進樣室（LoadLock,預處理）ü 離子銑室（Ion Milling Chamber）ü 電子束蒸發室（E-beam Chamber）ü 氧化室（OXIDATION Chamber）ü 超高真空傳輸系統(UHV Tunnel integration system)
